摘要 介绍了集成电路制造业发展的主要趋势，包括复杂度、工作频 率、器件性能、供电电压以及器件之间数据交换等。总结了微米级 到纳米级 CMOS 工艺集成电路性能对应的工艺发展节点，讨论了技 术演变对集成电路电磁兼容（EMC）的影响 , 并基于最近几年发表 的一系列学术论文综述了集成电路电磁兼容的研究现状。

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