摘要 针对微波等离子体的激发及应用实验，设计一种具有大面积、高能量密度等离子体的微波反应器。 首先通过理论计算圆柱型微波反应器的基本参数，分析微波反应器的工作模式与微波传输模式相互激励 原理。然后利用电磁仿真优化关键结构参数对微波反应器内电场强度与电场分布的影响，验证了模式数 量的叠加实现微波反应器内电场强度和电场分布的叠加。最后依据最优参数制造了微波反应器样机，进 行了等离子体激发实验，利用产生的微波等离子体制备出纳米材料。

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