基于工艺要求，结合三维全波电磁仿真和网格化地平面等效结构建模，对硅基板中网格化地平面上微带线的特征阻抗和传输特性进行仿真分析。对比了两种不同网格地优化方法的设计思路，并对网格化地平面的传输线特征阻抗差异进行分析。提出了一种可准确快速给出传输线特征阻抗并进行网格化地平面设计优化的方法。

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